Konfokaler Sensor (Bildquelle: Micro-Epsilon)

Der Messbereich des Sensors beträgt nur 100 µm. Die Stärke des Sensors liegt also im Detail. Denn der kleine Messbereich kombiniert mit einer hohen Auflösung von 3 nm ermöglicht es, transparente Schichten wie Glas oder Kunststofffolien bereits ab 5 µm zuverlässig und hochgenau zu erfassen. Eine weitere Neuheit ist der große Verkippungswinkel. Dieser ergibt sich durch die numerische Apertur, dem Grad der Bündelung der Lichtstrahlen in diesem optischen System, die einen Wert von NA 0,8 bzw. NA 0,7 erreicht. In Zusammenspiel mit dem Lichtpunktdurchmesser von nur 3 µm können feinste Strukturen erfasst und Rauheitsmessungen durchgeführt werden. Beispielsweise werden fein gehonte Oberflächen wie zum Beispiel Bremsscheiben, deren Strukturen für das menschliche Auge eher wie glatt polierte Flächen wirken, mit diesen Sensoren überprüft.