Nanostrukturenerzeugung

Nanostrukturen kostengünstig erzeugen

3.Dezember 2020 - Seit über 50 Jahren verdoppelt sich die Dichte der Transistoren auf den integrierten Schaltkreisen etwa alle zwei Jahre. Die Einhaltung dieses von Gordon Moore formulierten Gesetzes wird durch immer neue Fortschritte in der Mikrolithografie ermöglicht. Der technische Fortschritt dahinter ist immens. Immens ist inzwischen aber auch der systemtechnische Aufwand zur Herstellung kleinster Strukturen. Ein Mikrolithografiesystem der neuesten Generation kostet deutlich über 100 Millionen Dollar und wiegt 180 Tonnen.

Am Institut wurde ein Laborsystem für die EUV-Bearbeitung von Wafern mit bis zu 100 mm Durchmesser aufgebaut. (Bildquelle: Fraunhofer ILT)

Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Aachen, entwickelt Technologien zur Herstellung von Nanostrukturen, die auch Start-ups oder Mittelständler bezahlen können. Wie lassen sich Strukturen erzeugen, die kleiner als ein Mikrometer sind? Und wie kann man sogar noch kleinere Strukturen unter 100 Nanometer ohne großen Aufwand herstellen? Die Wissenschaftler haben für solche Fragen mehrere Technologien entwickelt. Damit können sie periodische Mikrostrukturen simulieren, herstellen und vermessen. Sie nutzen dafür phasenschiebende Transmissionsmasken, die Nanostrukturen bis hinunter zu 28 Nanometern effizient generieren.