Spektroskopisches Plasmamonitoring

Oberflächentechnik Die Beschichtung von Kunststoffen mittels Plasma zur Verbesserung der Barriereeigenschaften ist schon Stand der Technik. Zur Online-Überwachung plasmagestützter Prozesse erforscht das Institut für Kunststoffverarbeitung in Industrie und Handwerk an der RWTH Aachen das spektroskopische Plasmamonitoring. Die Emissionen des Plasmas sind stark von den Prozessparametern wie Druck, eingebrachter Leistung und Gasfluss abhängig. Insbesondere bei komplexen oder sehr schnellen Prozessen fehlt bisher für eine industriell nutzbare Online-Qualitätssicherung die zeitliche Verknüpfung zwischen den Prozessgrößen und den Plasmaeigenschaften, um qualitätsrelevante Prozessdaten liefern zu können.

Basierend auf der optischen Emissionsspektroskopie lassen sich mit mithilfe des spektroskopischen Plasmamonitoring während des Behandlungs- bzw. Beschichtungsvorgangs nun Aussagen zum Prozess treffen. Beispielsweise können der Zustand der Kammer, wie Kontamination oder Dichtigkeit, die Reproduzierbarkeit des Prozesses sowie die zu erwartenden Schichteigenschaften wie Kratzfestigkeit, Permeationsbarriere oder Benetzbarkeit beurteilt werden.