Nanostrukturen, zum Beispiel in Verbundwerkstoffen, Metallen, Biomaterialien oder Halbleitern, können gleichzeitig mit analytischen und bildgebenden Methoden untersucht werden. Das Mikroskop ermöglicht es, Proben simultan zu modifizieren und zu beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultiert, zum Beispiel bei der Anfertigung von Querschnitten, TEM-Lamellen oder beim Nanopatterning. Es liefert beste Bildqualität in 2D und 3D. Der neue Tandem-Decel-Modus ermöglicht neben der gesteigerten Auflösung eine Maximierung des Bildkontrasts bei niedrigen Landeenergien. Mit der wegweisenden Gemini-I- Elektronenoptik werden optimale Auflösung bei Niederspannung und gleichzeitig hohem Strahlstrom erreicht.
Messen
3D-Analytik und Probenpräparation bei FIB-REMs
Zeiss, Jena, präsentiert eine neue Generation Fokussierter Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskope für High-End-Anwendungen in Forschung und Industrie. Zeiss Crossbeam 550 verfügt sowohl über eine signifikant gesteigerte Auflösung für die Bildaufnahme und Materialcharakterisierung als auch eine nochmals erhöhte Geschwindigkeit bei der Probenbearbeitung.