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Schichtdickenmessgeräte (Bild: Elektrophysik Dr. Steingröver)

Die Schichtdickenmessgeräte sind mit einer Bluetooth-Schnittstelle ausgestattet, die den kabellosen Datentransfer direkt vor Ort an Smartphones oder Tablets ermöglicht. Zusätzlich besitzen alle Geräte eine USB-Schnittstelle für die schnelle Verbindung mit Computern, Notebooks oder Druckern. Für die Auswertung steht die CAQ-Software Quipsy zur Verfügung. Die drei Geräte besitzen den gleichen Funktionsumfang wie die Vorgängermodelle und unterscheiden in erster Linie durch den Sensoranschluss. Während das Minitest 725 mit einem integrierten Sensor arbeitet, der direkt am Gerät sitzt, ist der Sensor bei der Version 735 über ein Kabel mit den Messgerät verbunden. Damit lassen sich auch Messungen an schwer zugänglichen und engen Stellen durchführen. Das Modell 745 ermöglicht eine hohe Flexibilität durch wechselbare Sensoren, die wahlweise direkt am Gerät eingesetzt werden können oder über Kabel an das Messgerät angeschlossen werden. Zudem besitzt es einen größeren Messwertspeicher. Die Handhabung der Schichtdickenmessgeräte ist leicht und ergonomisch ausgereift. Das große Display zeigt deutlich den aktuellen Messwert und dazu die wichtigsten Parameter und ist um 180° drehbar. Die digitalen Sensor-Integrated-Digital-Signal-Processing-Sensoren sorgen für eine hohe Reproduzierbarkeit der Messergebnisse. Durch die Kalibrierung mit bis zu 50 Kalibrierpunkten schon während des Fertigungsprozesses werden spätere Messfehler auf ein Minimum reduziert. Unterschiedliche Kabellängen haben keinen Einfluss auf die Störsicherheit. Die automatische Substrat-Erkennung der FN-Sensoren hilft, Bedienungsfehler zu vermeiden.

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