Wenn man große Flächen mit hauchdünnen Schichten im Mikrometer- oder Nanobereich überzieht, die genau die richtige Dicke haben müssen, dann passieren leicht Fehler. Oft kann man die Dicke der aufgebrachten Schicht erst untersuchen, nachdem der Beschichtungsvorgang abgeschlossen ist. Mit einigen technischen Tricks gelang es nun dem Forschungsteam, ein Gerät zu entwickeln, das direkt in Beschichtungsanlagen eingebaut werden kann, und im laufenden Betrieb eine zuverlässige Qualitätskontrolle ermöglicht. „Das Grundprinzip des Inline-Ellipsometers ist einfach“, sagt Ferdinand Bammer vom Institut für Fertigungstechnik und Hochleistungslasertechnik. „Man beleuchtet die Oberfläche mit einem Laserstrahl und misst, wie das Laserlicht durch die dünne Schicht verändert wird.“ Dabei geht es nicht bloß um die Intensität des Laserstrahls. Eine entscheidende Rolle spielt seine Polarisation – also die Richtung, in der die Lichtwelle schwingt.

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