Die Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden. Daher sind sie mit robusten Metallgehäusen und hochflexiblen Kabeln ausgestattet. (Bildquelle: Micro-Epsilon)

Das hochgenaue IMS5400-TH wird zur Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien eingesetzt. Die Messung erfolgt mit nur einem Sensor, unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Aufgrund der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden. Das  IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Das Messsystem liefert absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Die Sensoren können in beengte Bauräume integriert werden. Das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung. Die Interferometer bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel.